English
SlovenčinaLaboratórium rastrovacej elektrónovej mikroskopie a elektrónovej litografie
Rastrovací elektronový mikroskop s termoemisnou katódou s možnosťou práce v režime nízkého vákua vhodný na mikroskopickú charakterizáciu aj slabo vodivých vzoriek bez pokovenia. Rozlíšenie pri 30 kV v móde vysokého vákua : ≤3nm, v móde nízkeho vákua : ≤4 nm. SE a BSE detektory. Systém obsahuje predkomôrku pre rýchlu výmenu vzorek. EDS analyzátor umožňuje kvantitatívnu a kvalitatívnu prvkovú analýzu a mapovanie rozloženia prvkov vo vzorke od bóru vyššie. Mikroskop je vybavený aj litografiou s rýchlosťou zápisu do 10 MHz, ktorá umožňuje prípravu jednoduchých a komplexných nanoštruktúr v rezistoch pomocou elektronového zväzku.
Výskumné možnosti:
1. Elektrónová mikroskopia vodivých a nevodivých vzoriek. Nedeštruktívna prvková analýza vzoriek pomocou EDS.
2. Príprava nanosúčiastok a nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie a ich charakterizácia pomocou mikroskopických a spektroskopicých metodík.
1. Elektrónová mikroskopia vodivých a nevodivých vzoriek. Nedeštruktívna prvková analýza vzoriek pomocou EDS.
2. Príprava nanosúčiastok a nanoštruktúr pomocou elektrónovej litografie a ich charakterizácia pomocou mikroskopických a spektroskopicých metodík.
